桌上型自动刻蚀机MSD-200F用于对刻蚀均匀性和一致性要求较高的表面处理工艺，外观采用PP、PVC、不锈钢镀特氟龙等材质，耐酸耐碱。适合硅片、磷化铟、碳化硅、氮化镓掩膜版等。蚀刻液成分为硝酸铈铵和冰醋酸的水溶液等，接触蚀刻液部位要求能抗腐蚀。主要应用于4、6寸晶圆及方片.适合高校、研究所和企业研发部客户。
本司也提供8寸、12寸桌上型刻蚀机，更多功能如吹气、背洗等请咨询。
桌上型半自动显影机技术规格：
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项目 |
规格 |
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主体 |
外壳材质:PVC 处理样品尺寸：8寸晶圆以内 承盘:PTFE 马达: 转速：20-3000 R.P.M 摇臂：自动 操作界面：7寸触摸屏 |
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显影装置 |
药液装置: 刻蚀液 x1 DIW x1 |
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控制系统 |
系统: PLC 使用接口：7寸触屏 配方:手动和自动模式 编程 : 50 组 20 步 |
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安全装置 |
晶圆承盘真空渗液保护: |
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真空检知: 数字设定:真空值下限保护 运行结束报警提示 |
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附件 |
真空泵x1 显影罐x1 去离子水罐x1 废液桶x1 真空吸盘x1 |
其它：更多配置要求请详细咨询厂家，以免购买不适宜产品，如过滤、稳压、流量显示、液位报警等功能。
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