品牌:全柜式涂胶显影机
发货:3天内
全柜式涂胶显影机操作模式：
设备采用操作人员取/送基片，自动完成涂胶、自动显影、自动烘烤处理的生产方式，操作人员通过触摸屏进行人机交互，完成生产配方和过程的控制。外观材质 PP或者不锈钢可选。
全柜式涂胶显影机涂胶单元：
转速：5000 RPM（空载）
转速控制精度：±1RPM
转速调整量：1RPM
加速度范围：1000RPM/S 可设定
电机功率：0.4KW、0.75KW、1.75KW等
涂胶方式：手动\自动滴胶可选
滴胶模式：手动、针筒、压力罐、胶泵等多种方式可选
废液组成：光刻胶及其它液体
收集装置：废液收集后排放到设备内部的废液桶
处理尺寸：≤8英寸，其它规格尺寸可选
显影模块：
显影模块包括显影单元，化学品供应系统，化学品排放系统，有机气体排放系统
吸盘系统：真空吸附
转速：3000 转/分钟（负载）
转速控制精度： ± 1 转/分钟
z小转速调整量：1 转/分钟
加速度范围：5000RPM/S 可设定
电机功率：0.4KW、0.75KW、1.75KW等
防护罩材料：不锈钢
喷嘴组件，显影臂，驱动电机
显影方式：可实现定点，扫描，puddle 显影方式
喷头形式：扇形\柱形
显影喷嘴高度控制：手动调整
喷嘴组件，清洗臂，驱动电机
废液收集后排放到设备内部的废液桶。
废气来源：显影区域及防护罩内的挥发气体
废气排放：单元内部气体收集后直排厂务系统
管路：显影液、水、气、背洗等可选
处理尺寸：≤8英寸，其它规格尺寸可选
热板：
温度范围： RT~200℃;
温度均匀性：≤±1%；
顶升功能：可选；
上位机软件：可选；
处理尺寸：≤8英寸，其它规格尺寸可选；
冷板可选
更多功能和处理尺寸需求可沟通详细了解。
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