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是专门针对高温气体检测所研制一款高精度质量流量计，承受温度达到120°。在结构设计上，本产品采用的MEMS流量传感器芯片技术，结合高速数字处理电路和特殊流道设计，用来对气体流量/质量流量进行高精度测量，该产品具有精度高、响应速度快、集成度高等优点。
该产品可根据客户需要，设计IP65级及以上的防水、防尘保护，以及汽车级抗震设计。
此系列MFM的量程从20SCCM到 200SLM，典型精度为满量程的1%（0.3%和0.5%可选），输出信号可选择：4-20mA模拟信号、0-5V模拟信号、RS485数字信号、EtherCAT, CC-link等多种通信方式，供电电压为DC24V（±10%）。
精密气体流量计产品应用于：医疗仪器、环境分析仪器、光谱色谱分析仪器、泄漏检测、热力分析、其他气体流量控制行业等
精密气体流量计高温特性好（温度120℃）
超小的体积，适合系统集成
高精度及优越的零点稳定性
超快的响应时间及稳定时间
良好的重复性和再现性
可模拟采集、控制或数字采集、控制
良好的防水防沉和抗震性能，适用于多种场合
精密气体流量计
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