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MPI8英寸高功率手动探针台
MPI高功率器件表征系统专为晶圆上高功率器件测试而设计。MPITS150-HP和TS200-HP探头系统提供完整的150mm和200mm晶圆解决方案。它们设计用于在宽温度范围内实现功率半导体的低接触电阻测量。文本
单机多应用设计
•適用於高功率器件量测和其他多種晶圓量測應用，如组件特性描述和建模，晶圆级可靠性
•(WLR)、失效分析(FA)、集成电路工程、微型机电系统(MEMS)
工效学与安全设计
•方便单手操作的快速释放拖移气浮载物台设计
•坚固且可乘载多达10支高电压HV或4支大电流HC微定位器的工作台
•电磁屏蔽箱和工作台电弧屏蔽ArcShieldTM设计，为高电压量测提供安全防护
•三段式工作台快升把手设计(contact-separation-loading)，实现高重现性
弹性选配与升级性
•另有多种仪器连接选项和晶圆载物台可做升级，亦有诸多配件如微定位器、光学显微镜等可搭载，以完全支援您的应用需求
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